1. 首页
  2. 数据库
  3. 其它
  4. 硅键合SOI平面光波导探索

硅键合SOI平面光波导探索

上传者: 2021-03-29 16:21:51上传 PDF文件 1.99MB 热度 8次
本文分析了SIMOX/SOI和DWB/SOI结构的性能特点.尝试用DWB/SOI材料制备不同波导层厚度的平面光波导样品,并测试了1.15 μm和1.523 μm激光的TE和TM模的传输损耗.1.523 μm光的TE模的最小传输损耗已达0.27 dB/cm.说明DWB/SOI材料是一种有潜力的光波导材料.
用户评论