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原子层沉积技术制备ZnO纳米材料及其在抗菌领域的研究进展

上传者: 2020-07-16 10:00:22上传 PDF文件 890.21KB 热度 22次
原子层沉积技术制备ZnO纳米材料及其在抗菌领域的研究进展,全小雨,王登魁,本文介绍了原子层沉积技术制备ZnO纳米材料的研究历史及现状,概括了原子层沉积制备ZnO的优势,总结了反应源类型、衬底类型、衬底温
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