SiC热氧化SiO2的红外光谱研究 上传者:hhhhjjhh 2020-02-27 14:31:40上传 PDF文件 464.25KB 热度 33次 SiC热氧化SiO2的红外光谱研究,田晓丽,龚敏,SiC热氧化时由于C元素的存在及其诱生的空位型缺陷,影响SiO_2层的质量、SiO_2/SiC界面及SiCMOS器件的击穿特性。本文采用红外光谱技术研� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 hhhhjjhh 资源:474 粉丝:0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com