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论文研究 通过微形貌调制改善55nm铜互连电迁移可靠性 .pdf

上传者: 2020-07-19 18:55:45上传 PDF文件 784.21KB 热度 11次
通过微形貌调制改善55nm铜互连电迁移可靠性,林聪,徐莹,随着芯片集成度的越来越高,金属互连线承受的电流密度越来越高,电迁移引起的集成电路可靠性问题日趋凸显。本文介绍了电迁移的基
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