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紫外激光辐照对非晶IZO薄膜电学性质影响

上传者: 2020-07-19 01:10:17上传 PDF文件 639.43KB 热度 19次
紫外激光辐照对非晶IZO薄膜电学性质影响,夏鹏,马剑钢,本文采用溶胶-凝胶法,结合深紫外激光辐照处理,在石英玻璃衬底上制备了非晶铟锌氧(IZO)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪、紫外-可
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