论文研究 微波等离子体化学气相沉积法制备纳米晶金刚石膜及其生物相容性

由于其独特的特性，例如高硬度，透光率，导热性，化学稳定性和耐腐蚀性，在过去的二十年中，钻石引起了极大的关注。 这些特殊的性能使金刚石膜成为用于切削工具，微波窗，电子设备散热器和金刚石电极的有前途的材料。 然而，由于难以通过机械和化学方法抛光，因此具有微米级晶粒尺寸的金刚石膜通常表现出高的表面粗糙度并且阻碍了其在微机电系统（MEMS）和生物领域中的应用。 随着化学气相沉积的发展，纳米晶金刚石（NCD）膜已经被制造出来并找到了新的应用。 NCD膜的晶粒尺寸在10至100nm的范围内，其继承了金刚石的特性并且具有纳米级材料的独特特性，并且NCD膜的形态为颗粒状或针状结构。 微波等离子体化学气相沉积（