微波等离子体化学气相沉积法制备图形化碳纳米管阵列 上传者：caoyunmei 2020-04-24 06:58:19上传 PDF文件 695.45KB 热度 56次 微波等离子体化学气相沉积法制备图形化碳纳米管阵列，赵约瑟，曾葆青，应用微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD）在含有图案化的Ni催化剂薄膜上选择性的沉积了定向有序碳纳米管阵列。甲烷（CH4）和氢气（H2 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
