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微波等离子体化学气相沉积法制备图形化碳纳米管阵列

上传者: 2020-04-24 06:58:19上传 PDF文件 695.45KB 热度 29次
微波等离子体化学气相沉积法制备图形化碳纳米管阵列,赵约瑟,曾葆青,应用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在含有图案化的Ni催化剂薄膜上选择性的沉积了定向有序碳纳米管阵列。甲烷(CH4)和氢气(H2
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