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化学气相沉积光学级金刚石薄膜的研究进展

上传者: 2021-02-27 07:44:09上传 PDF文件 262.34KB 热度 12次
化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜优异的光学性能在近几年得到了广泛的重视,关于它的研究也在近几年取得了较大的突破。综述了CVD金刚石薄膜的光学性能,着重从成核、生长和后期处理三个方面对光学级CVD金刚石薄膜的制备进行了讨论,并对今后的研究作了展望。
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