微晶硅沉积的射频等离子体辉光发射谱 上传者：airflynet 2020-07-18 03:57:11上传 PDF文件 446.03KB 热度 13次 微晶硅沉积的射频等离子体辉光发射谱，朱锋，赵颖，采用射频等离子体增强化学气相沉积（RF-PECVD）技术在高沉积功率、低衬底温度的条件下沉积微晶硅薄膜材料。光发射谱（OES）测量技术� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 airflynet 资源：421 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
