微晶硅沉积的射频等离子体辉光发射谱 上传者：airflynet 2020-07-18 03:57:11上传 PDF文件 446.03KB 热度 30次 微晶硅沉积的射频等离子体辉光发射谱，朱锋，赵颖，采用射频等离子体增强化学气相沉积（RF-PECVD）技术在高沉积功率、低衬底温度的条件下沉积微晶硅薄膜材料。光发射谱（OES）测量技术� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
