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微空心阴极放电与高压辉光放电等离子体源

上传者: 2021-02-22 22:29:39上传 PDF文件 1.52MB 热度 11次
首先综述了微空心阴极放电的基本原理,然后详细论述了微空心阴极维持的辉光放电(MCSD)以及MCSD的放电参数对产生大体积高压辉光放电等离子体源的影响,最后论述了MCSD运行方式对产生高压辉光放电等离子体源的影响。
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