1. 首页
  2. 移动开发
  3. 其他
  4. 非晶硅热导率.pdf

非晶硅热导率.pdf

上传者: 2020-07-17 11:00:37上传 PDF文件 215.06KB 热度 17次
采用铂电极为加热电阻,研究了厚度为 等离子体化学气相沉积工艺制备的氢化非晶硅薄膜的热导率随衬底温度的变化规律用光谱式椭偏
用户评论