非晶硅顶电池中的n型掺杂层对非晶硅微晶硅叠层太阳电池性能的影响.pdf
摘要：采用超高频等离子增强化学气相沉积技术，逐次高速沉积非晶硅顶电池及微晶硅底电池，形成pin/pin型非晶硅／微晶硅叠层电池
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