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论文研究 独特的锐钛矿和金红石TiO脉冲激光沉积生产

上传者: 2020-07-17 03:05:39上传 PDF文件 719.29KB 热度 31次
仅通过改变生长和退火条件,而无需改变衬底,靶材或工作气体,二氧化钛的两个纯六方相锐钛矿和金红石通过脉冲激光沉积在c切割的Al2O3衬底上生长。 通过X射线衍射确认各相的纯度,使用原子力显微镜和扫描电子显微镜研究各膜的质量,并且使用X射线光电子能谱研究各基板与膜之间的界面。 发现Ti 2 O 3的结合层解释了在非常大的晶格失配条件下锐钛矿的生长。
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