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论文研究宏孔硅光电化学腐蚀光谱响应曲线测量 .pdf

上传者: 2020-05-15 18:31:47上传 PDF文件 439.79KB 热度 22次
宏孔硅光电化学腐蚀光谱响应曲线测量,王国政,兰春蕾,宏孔硅微通道阵列在光子晶体、硅微通道板、MEMS器件等领域应用前景广阔。本文开展了宏孔硅光电化学腐蚀光谱响应特性研究,设计了�
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