溶胶 凝胶法制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1 xO3成分梯度薄膜的介电性能研究

溶胶-凝胶法制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1-xO3成分梯度薄膜的介电性能研究，高丽娜，翟继卫，采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba0.90Sr0.10ZrxTi1-xO3 (BSZT)(x=0~0.40)组分及其成分梯度薄膜，研究了各组分及梯度薄膜的相结构�