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溶胶 凝胶法制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1 xO3成分梯度薄膜的介电性能研究

上传者: 2020-07-17 00:39:49上传 PDF文件 553.7KB 热度 15次
溶胶-凝胶法制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1-xO3成分梯度薄膜的介电性能研究,高丽娜,翟继卫,采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba0.90Sr0.10ZrxTi1-xO3 (BSZT)(x=0~0.40)组分及其成分梯度薄膜,研究了各组分及梯度薄膜的相结构�
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