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溶胶 凝胶法制备无衬底BaTiO3介质薄膜及其结构与性能研究

上传者: 2020-07-19 17:50:28上传 PDF文件 669.72KB 热度 18次
溶胶-凝胶法制备无衬底BaTiO3介质薄膜及其结构与性能研究,李瑾瑾,朱归胜,本文中,我们创新性地提出了一种制备无衬底BaTiO3薄膜的方法,并且证明了BaTiO3薄膜可以从衬底剥离。文中还对不同退火条件下BaTiO3薄膜
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