论文研究 射频和直流辉光放电等离子体对CR39聚合物膜表面改性的比较

光学元件的表面由抗反射涂层（ARC）沉积，以减少光的反射。在通过等离子体沉积ARC之前，需要对表面进行处理，以通过等离子体进行处理，以提高附着力和表面硬化。通过比较RF和DC辉光放电处理过的CR-39聚合物薄膜，可以深入了解这些表面过程的机理。通过显微镜技术检查经过等离子体处理的样品的表面特性，包括接触角测量，扫描电子显微镜（SEM），原子力显微镜（AFM），红外（IR）光谱和折射率测量。结果表明，等离子体处理在组成和形态上均改变了聚合物表面。发现在等离子体处理之后表面润湿性增强。已经发现，RF等离子体在CR-39表面改性方面比DC等离子体更有效，因为它向表面注入了更多的氧原子并使