基于聚合物膜修饰的等离子体远程与动态特性研究 上传者:gen_gen 2020-03-16 18:14:38上传 PDF文件 602.07KB 热度 48次 基于聚合物膜修饰的等离子体远程与动态特性研究,赵之平,李宁,本文研究了低温等离子体的远程与动态特性。考察了等离子体辉光距离随等离子体操作条件的变化关系,通过聚四氟乙烯膜刻蚀率及膜表� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论