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基于聚合物膜修饰的等离子体远程与动态特性研究

上传者: 2020-03-16 18:14:38上传 PDF文件 602.07KB 热度 31次
基于聚合物膜修饰的等离子体远程与动态特性研究,赵之平,李宁,本文研究了低温等离子体的远程与动态特性。考察了等离子体辉光距离随等离子体操作条件的变化关系,通过聚四氟乙烯膜刻蚀率及膜表�
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