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半导体制程培训CMP和蚀刻.pptx.zip

上传者: 2020-06-13 08:59:02上传 ZIP文件 5.65MB 热度 16次
半导体制程培训CMP和蚀刻讲解了半导体制造工艺流程——刻蚀。化学机械平坦化(Chemical-MechanicalPlanarization,CMP),又称化学机械研磨(Chemical-MechanicalPolishing),是半导体器件制造工艺中的一种技术,使用化学腐蚀及机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平坦化处理。
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