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半导体制程的监控系统

上传者: 2019-05-14 01:16:20上传 PDF文件 157.33KB 热度 33次
制造商原来的系统使用Omron®可编程逻辑控制器与不同品牌的设备,而且广泛分布在几个楼层,因此相当需要一套可靠的网络,以联机所有设备与设备的操作接口。之后监控人员就能从任何工作站或具有存取权限的计算机,来监控现场设备的运作状态。
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