基于硫醇烯的微光学元件低收缩紫外压印工艺 上传者：qq_34266 2020-05-31 08:58:19上传 PDF文件 1.3MB 热度 36次 基于硫醇-烯的微光学元件低收缩紫外压印工艺，刘楠，金鹏，应用紫外纳米压印技术结合反应离子刻蚀技术制作石英玻璃基底上微结构光学元件是一种低成本、高效率、高分辨力的加工方法。光刻胶 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
