应用传统紫外光刻机进行紫外压印

1 引言 自1995年纳米压印技术提出以来,人们希望通过该技术实现低成本、高分辨率、高效率、大面积的批量制备纳米结构。但是,传统的热压印技术需要加热、高压环节,从而造成压印环节复杂、难于控制。1999年,美国得克萨斯州大学的研究小组提出一种在室温、低压环境下利用紫外光固化聚合物的紫外纳米压印技术,业已成为纳米压印技术研究的主要方向[l-2]。通过对该技术的研究,我们筛选了一种较为适合紫外压印技术的紫外固化胶,同时利用传统紫外光刻机实现了套刻对准功能。在实验中,制备了具有100 nm特征尺寸的5 cm×5 cm面积石英玻璃透明模板,并且成功转移复制了模板上的微细结构。