CVD金刚石膜生长机理的数值模拟研究进展

Name: CVD金刚石膜生长机理的数值模拟研究进展
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Author: rostone

上传者：rostone 2020-05-29 19:39:03上传 PDF文件 248KB 热度 54次

CVD金刚石膜生长机理的数值模拟研究进展，安希忠，李长兴，综述了CVD金刚石膜在不同条件下沉积的各种表面生长机理的数值研究进展，详细阐述了表面化学反应的选取及生长机理的提出，总结了采

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