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MEMS传感器是智能医疗核心

上传者: 2020-07-16 22:25:46上传 PDF文件 317.22KB 热度 19次
MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高,适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。
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