1. 首页
  2. 编程语言
  3. 其他
  4. 化学机械研磨工艺中的减量减排

化学机械研磨工艺中的减量减排

上传者: 2020-05-13 13:29:07上传 PDF文件 610.88KB 热度 13次
化学机械研磨工艺中的减量减排,吴端毅,,半导体制造是一个高耗能,高排放的行业。本文通过对半导体制造工艺中化学机械研磨(chemicalmechanicalpolish)工艺中的研磨环、氨水和�
用户评论