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论文研究化学机械研磨对硅片表面Haze值的影响 .pdf

上传者: 2020-01-10 12:11:23上传 PDF文件 359.34KB 热度 15次
化学机械研磨对硅片表面Haze值的影响,林佳佳,,化学机械研磨是当今唯一能够提供全局平坦化的技术,其抛光机理的研究是当前的热点。硅片表面Haze值是描述硅片表面粗糙度的一个重��
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