考虑埋氧层电荷时的SOI高压器件纵向耐压模型

Name: 考虑埋氧层电荷时的SOI高压器件纵向耐压模型
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Author: greatefanli

上传者：greatefanli 2020-04-29 06:48:13上传 PDF文件 330.78KB 热度 45次

考虑埋氧层电荷时的SOI高压器件纵向耐压模型，郭宇锋，罗晓蓉，本文建立了具有Si/SiO2界面电荷的SOI高压器件新结构纵向耐压模型，该模型表明，在硅和埋氧层界面上引入界面电荷可以克服常规SOI纵向�

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