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论文研究悬臂接触式RF MEMS开关的设计 .pdf

上传者: 2020-04-20 00:18:28上传 PDF文件 327.42KB 热度 20次
悬臂接触式RFMEMS开关的设计,张义恺,,本文研究的金属接触型RFMEMS开关由悬臂梁,驱动电极,金属触点等部分构成。基于微波、材料和机械设计因素的考虑,本次设计选取了��
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