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论文研究面向MEMS光开关微装配的控制系统设计 .pdf

上传者: 2019-09-15 01:57:32上传 PDF文件 993.68KB 热度 24次
面向MEMS光开关微装配的控制系统设计,陈伟海,黄小津,本文研究并开发了面向MEMS光纤微装配的控制系统,用于完成装配过程中的精密对准和误差补偿操作,并将系统的装配误差成功控制在微��
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