发展中的RF MEMS开关技术 上传者：bd39605 2020-10-28 05:46:56上传 PDF文件 218.7KB 热度 46次 从驱动方式和机械结构的角度介绍了不同的RF MEMS开关类型,分析了各类MEMS开关的性能及优缺点,分析了MEMS开关在制作和发展中面临的牺牲层技术、封装技术、可靠性问题等关键技术和问题,介绍了MEMS开关的发展现状及其在组件级和系统级的应用,以及对MEMS开关技术的展望。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
