用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪 上传者：流域天韵 2021-04-05 09:37:07上传 PDF文件 119.26KB 热度 30次 在光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上,提出了一种扩大其测量范围的方法,使得在保持纳米精度的前提下,测量范围由半个波长扩大为125.56μm,并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
