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硅薄膜的制备及光学性能研究

上传者: 2020-07-24 06:40:06上传 PDF文件 541.48KB 热度 22次
硅薄膜的制备及光学性能研究,马胜利,王利,本文采用磁控溅射技术,通过改变溅射功率制备了系列非晶硅薄膜,并研究了薄膜的光学性能。结果发现,随着溅射功率的提高,硅薄膜
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