论文研究 灯窗反应器中石英窗口对硅片双稳态的影响

在以灯为基础的腔室中进行快速传热（RTP）的组合传热条件下，研究了石英板（窗口）对硅片温度的影响。 用于RTP的腔室是通过辐射封闭式热系统进行模拟的，该系统包括石英窗的影响，该石英窗作为灯发射的光谱过滤器和发射的热辐射源。 在光谱近似中求解了涉及工作晶片和石英窗口的热量输入和输出的热通量的能量方程。 考虑了由硅晶片和石英窗口对加热器温度的温度依赖性所定义的传递特性。 结果表明，硅晶片中的温度双稳性引发了进入石英窗口的感应双稳性，由于其整体光学特性与温度呈线性关系，因此不会显示出双稳态行为。 证实了通过加热器辐射的光谱限制来模拟石英窗的可能性。 从工作晶片上除去的热通量的非辐射成分的有效热交换系