详解惯性MEMS的原理及应用.pdf

惯性微机电传感器通常缩写为惯性模型，具有二十多年的激烈研究，开发和商业化的历史。他们有时没有被察觉，他们离开了军事和太空相关公用事业的阴影，进入了隐藏在我们周围产品中的日常生活。带有安全气囊释放传感器和电子稳定控制的汽车已成为理所当然的事。起搏器患者的活动监测和运输机器人和摄像机等平台的稳定现在正在改善我们的生活质量。易于使用的人机界面的创建已经帮助许多人征服我们周围的复杂设备，而不仅仅是计算机游戏，惯性MEMS的渗透与其他传感器系统的融合进入新的应用领域是一个趋势。