CMOSMEMS惯性传感器的原理和应用.pdf 上传者:宛陵秋 2019-09-09 10:18:28上传 PDF文件 2.56MB 热度 32次 资料介绍主要内容:MEMS和CMOS-MEMS技术、薄膜CMOS-MEMS、DRIECMOS-MEMS、流程开发和改进、集成CMOS-MEMS惯性传感器、MEMS惯性传感器:应用。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论