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CMOSMEMS惯性传感器的原理和应用.pdf

上传者: 2019-09-09 10:18:28上传 PDF文件 2.56MB 热度 21次
资料介绍主要内容:MEMS和CMOS-MEMS技术、薄膜CMOS-MEMS、DRIECMOS-MEMS、流程开发和改进、集成CMOS-MEMS惯性传感器、MEMS惯性传感器:应用。
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