MEMS惯性传感器的设计守则.pdf

这个全面而严格的指南是对MEMS的惯性传感器的设计而言的，本书着重于MEMS的制造和测试、实用和系统概述，向您展示如何分析和转换应用需求到实际设计，并帮助您避免潜在的陷阱并缩短设计时间。通过本书，您很快就能掌握相关的基础知识，包括MEMS技术，封装，运动学和力学以及传感器。您还可以对设计的不同方法和架构进行全面评估，并进行测试和校准。