惯性微机电系统(MEMS)传感器技术原理

本文将研究医疗导航应用的独特挑战,并且探讨可能的解决方案--从传感器机制到系统特性。首先将回顾传感器的一些重要性能指标,以及在传感器选型中应当考虑的潜在误差和漂移机制。本文还会重点介绍通过集成、融合和处理来增强传感器的方法,例如通过采用卡尔曼滤波。然而,在展开详细论述之前,回顾惯性微机电系统(MEMS)传感器技术的一些基本原理可能会有帮助。