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微介绍mems传感器应用领域

上传者: 2020-07-22 05:55:34上传 PDF文件 184.38KB 热度 22次
MEMS 的全称是微型电子机械系统,利用传统的半导体工艺和材料,集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。具有小体积、低成本、集成化等特点。
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