微介绍mems传感器应用领域 上传者：cyx25934 2020-07-22 05:55:34上传 PDF文件 184.38KB 热度 48次 MEMS 的全称是微型电子机械系统，利用传统的半导体工艺和材料，集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。具有小体积、低成本、集成化等特点。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
