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论文研究溅射功率对Ca2Si薄膜性质的影响 .pdf

上传者: 2019-09-20 07:05:24上传 PDF文件 356.65KB 热度 35次
溅射功率对Ca2Si薄膜性质的影响,任雪勇,谢泉,采用射频磁控溅射技术在Si(100)衬底上沉积了Si-Ca-Si薄膜,并在高真空条件下对样品进行退火处理,直接生成立方相Ca2Si薄膜。研究了不
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