C轴择优取向ALN薄膜的制备研究

Name: C轴择优取向ALN薄膜的制备研究
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Author: gddgapollo

上传者：gddgapollo 2018-12-26 15:30:40上传 PDF文件 250.32KB 热度 56次

对（001）择优取向AlN薄膜进行了制备

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C轴择优取向AlN薄膜的制备研究

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