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《薄膜材料制备原理与技术应用》[唐伟忠 编著].pdf

上传者: 2019-09-03 19:52:15上传 PDF文件 4.64MB 热度 45次
本资源属于集成电路工艺制造方面,主要讲了薄膜材料的不同制备方法及内在原理,有助于理解工艺制造原理。
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