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铁电薄膜材料的制备工艺及应用研究

上传者: 2020-08-08 10:13:45上传 PDF文件 272.94KB 热度 22次
铁电薄膜材料的制备工艺及应用研究,李甜,康爱国,近年来,随着薄膜制备工艺的不断突破以及微电子、光电子、微电子机械等对铁电材料小型化、薄膜化、集成化的要求,铁电薄膜材料已
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