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一种晶圆搬运机械手的运动学仿真研究.

上传者: 2019-05-08 21:50:49上传 PDF文件 655KB 热度 26次
对一种搬运机械手的结构及相关参数进行了设计,介绍了该机械手的运动原理,运用代数法对机械手的关节角和末端执行器坐标之间的关系进行了数学计算,得到了机械手的运动学方程。
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