溅射离子源的初步调试(1993年) 上传者:ginger_zx 2024-07-09 00:41:40上传 PDF文件 134.32KB 热度 8次 本文介绍一种可适用于金属表面改性用的溅射离子源。采用双层热屏蔽套,在相同的引出总束流前提下,可相应减小灯丝加热功率。初步调试结果,引出的靶上总束流:氮离子达10mA;氩离子1mA;铜离子达10mA;钛离子30uA。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 ginger_zx 资源:465 粉丝:0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com