金属工艺用强流离子注入机靶室设计
本研究基于工件注入过程中热效应的分析及实验测量的对比，确立了靶室的设计方案。此外，还简要介绍了该金属工艺用强流离子注入机靶室的特点。
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本研究基于工件注入过程中热效应的分析及实验测量的对比，确立了靶室的设计方案。此外，还简要介绍了该金属工艺用强流离子注入机靶室的特点。
