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金属工艺用强流离子注入机靶室设计

上传者: 2024-07-08 10:37:58上传 PDF文件 183.35KB 热度 6次

本研究基于工件注入过程中热效应的分析及实验测量的对比,确立了靶室的设计方案。此外,还简要介绍了该金属工艺用强流离子注入机靶室的特点。

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