快速离子注入半导体时的温度计算(1993年)

Name: 快速离子注入半导体时的温度计算(1993年)
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Author: Sysuzwq

上传者：Sysuzwq 2024-07-06 12:05:07上传 PDF文件 479.49KB 热度 40次

本文简述了快速离子注入特点，并对其过程中靶材表面区域的温度分布进行了计算。

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快速离子注入半导体时的温度计算(1993年)

本文简述了快速离子注入特点，并对其过程中靶材表面区域的温度分布进行了计算。

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