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SECS GEM协议在半导体工厂中的应用

上传者: 2023-03-14 02:39:06上传 PDF文件 1009.5KB 热度 15次

SECS GEM是SEMI国际半导体产业协会制定的半导体标准规范之一,指定了设备和工厂之间的信息交互和控制等规范。在中国政府大力推动国内半导体发展的背景下,半导体工厂实现自动化生产和管理必须采用MES系统并符合SECS GEM等国际标准和规范。金南瓜开发团队在半导体行业具有十余年的经验,研发出与国内唯一能与disco7161竞争的laser grooving设备,并推出纯国产化的SECS GEM解决方案,以防止国产设备被掐脖子以及机密泄漏。

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