SECS/GEM半导体通讯标准规范手册，金南瓜规格书详细介绍

SECS/GEM是半导体、电子和光伏行业常用的通讯接口类型之一，该接口已经被非营利性行业协会SEMI标准化。本文将详细介绍SECS/GEM的基本功能和适用范围，但不会提供关于基本协议和数据格式的详细信息。SECS是Semiconductor Equipment Communication Standard（半导体设备通讯标准）的缩写，而GEM指的是SEMI E30标准，在设备行为和通讯上使用了SEMI E5标准中定义的消息类型的子集作为通用模型。SECS/GEM接口通常使用SEMI标准E37和E37.1指定的TCP/IP网络进行部署，但也可以使用SEMI标准E4中定义的RS-232串行连接，尤其在旧设备中更为常见。SEMI标准有简称和官方标识符，因此E4、E5和E37也分别称为SECS-I、SECS-II和HSMS。