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半导体通讯SECS/GEM的PLC处理方法书

上传者: 2020-08-08 02:41:27上传 PDF文件 1.23MB 热度 38次
SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)制定的连接性标准。此连接性标准用于在设备和工厂的资讯和控制系统间建立通讯。SECS是SEMI设备通讯标准的缩写。
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