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溅射无定形硅的紫外 可见椭圆偏振光谱和光学常数

上传者: 2021-04-25 04:58:50上传 PDF文件 3.95MB 热度 15次
利用作者试制的紫外-可见椭圆偏振光谱仪研究了溅射无定形硅薄膜的光学性质,获得了不同氢分压制备的无定形硅在紫外至可见光谱范围内的n~λ、k~λ等关系,并对结果进行了讨论.
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